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IPA霧化干燥機是什么

來源：m.13187.net | 發(fā)布時間：2025年03月05日

IPA 霧化干燥機是一種主要應(yīng)用于晶圓加工等領(lǐng)域的干燥設(shè)備，利用異丙醇（IPA）的特性來實現(xiàn)干燥功能，以下是具體介紹：
1.工作原理：采用加熱異丙醇形成氣霧，與惰性氣體一起對晶圓表面的水分子進(jìn)行吸附，再通過加熱使得異丙醇揮發(fā)，從而實現(xiàn)對晶圓的清理干燥。在干燥時，首先晶圓處于被夾持的靜止?fàn)顟B(tài)，IPA 霧化劑噴射到晶圓的表面，由于 IPA 霧化劑具有較強的高分子作用力，IPA 霧化劑能進(jìn)入到晶圓表面的微孔中，將其中的水分帶出，進(jìn)而達(dá)到干燥的目的。
2.技術(shù)優(yōu)勢：相比于傳統(tǒng)的如甩干與慢提拉等晶圓干燥技術(shù)，IPA 霧化干燥技術(shù)能夠有效避免晶圓破碎的問題發(fā)生，對晶圓起到更好的保護(hù)作用，提高晶圓加工的良品率。

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