用途:該設(shè)備用于帶框生瓷片沖腔工藝,具有自動上下料、自動定位,自動沖切等功能,滿足LTCC、HTCC中沖切工藝需求。
TIME: 2024-12-12隨著半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展,砷化鎵、磷化銦等二代半導(dǎo)體化合物材料、氮化鎵、碳化硅等三代寬禁帶半導(dǎo)體材料,對于濕化學(xué)清洗工藝提出了新要求。在配置傳統(tǒng)獨(dú)立濕處理工藝槽(SPM、APM、HPM、DHF、IPA Dry)的基礎(chǔ)上,新材料清洗設(shè)備按照客戶工藝菜單進(jìn)行優(yōu)化設(shè)置,配液精度、配液種類、清洗方式方面進(jìn)行設(shè)計(jì)提升,同時(shí)保持與行業(yè)廠商、學(xué)校研究院所的積極聯(lián)合探索和設(shè)備定制。
TIME: 2024-10-11有不同的獨(dú)立濕處理工藝槽、按照客戶工藝菜單的設(shè)置,機(jī)械手在各工藝槽中進(jìn)行相應(yīng)的工藝處理。適合用于基片批量的腐蝕/去膠/顯影/清洗等工藝.
TIME: 2024-10-11自動供液系統(tǒng)可以通過VMB給多臺設(shè)備進(jìn)行供液。具有過濾、循環(huán)功能,根據(jù)用戶要求配備雙組或者多組過濾、循環(huán)系統(tǒng);當(dāng)其中一個(gè)桶內(nèi)的液體用完時(shí),能夠自動進(jìn)行雙桶切換并且提示用戶。同時(shí)還具備化學(xué)液的取樣檢測功能。
TIME: 2024-10-11該設(shè)備用于 LTCC、HTCC 和 MLCC 的加壓作業(yè),最 大壓力80MPa,最大直徑600,最小230
TIME: 2024-10-11全自動疊層機(jī)是用于生瓷片疊片的設(shè)備,具備自動上下料、自動切片、自動撕膜、自動對位、真空疊壓等功能,廣泛應(yīng)用于LTCC、HTCC、MLCC等領(lǐng)域。
TIME: 2024-10-12自動晶棒清洗機(jī)是半導(dǎo)體、光伏等行業(yè)中用于清洗晶棒的重要設(shè)備,其特點(diǎn)主要包括以下幾個(gè)方面: 1.自動化程度高:可實(shí)現(xiàn)晶棒上料、清洗、下料等一系列操作的自動化運(yùn)行,無需人工過多干預(yù)。設(shè)備能夠按照預(yù)設(shè)的程序和參數(shù),正確控制清洗過程中的各個(gè)環(huán)節(jié),如清洗液的流量、清洗時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度等,大大提高了清洗效率,減少了人工操作帶來的誤差和不確定性。
全自動疊層機(jī)是一種能自動完成物料疊放、層壓等操作的自動化設(shè)備,可應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域,以下是具體介紹: 1.功能特點(diǎn) 自動化操作:能按照預(yù)設(shè)程序,自動完成上料、取料、疊放、層壓等一系列操作,無需人工頻繁干預(yù),提高了生產(chǎn)效率,降低了人工成本。
有機(jī)清洗機(jī)在半導(dǎo)體領(lǐng)域主要用于去除半導(dǎo)體晶圓、芯片制造過程中的各類有機(jī)污染物等,以下是其具體應(yīng)用: 1.光刻膠去除 在半導(dǎo)體制造的光刻工藝中,光刻膠被廣泛用于定義芯片的電路圖案。光刻完成后,需要使用有機(jī)清洗機(jī)去除未曝光或不需要的光刻膠。有機(jī)清洗機(jī)中的有機(jī)溶劑可以與光刻膠發(fā)生溶解或化學(xué)反應(yīng),使光刻膠從晶圓表面脫落,然后通過沖洗和干燥等步驟,確保晶圓表面干凈,為后續(xù)工藝做好準(zhǔn)備。例如,使用 N - 甲基吡咯烷酮(NMP)等有機(jī)溶劑的有機(jī)清洗機(jī),能夠高效地去除各種類型的光刻膠,包括正性光刻膠和負(fù)性光刻膠。